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為什么電子半導(dǎo)體行業(yè)要用純水設(shè)備?


    在光伏、半導(dǎo)體行業(yè)電子管生產(chǎn)中,光伏行業(yè)電子管陰極涂甫碳酸鹽。如其中混入雜質(zhì),就會影響電子的發(fā)射,進(jìn)而影響電子管的放大性能及壽命,因此其配液要使用純水。

  在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),是鋅或其他金屬的硫化物組成的熒火粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成,其配制需用純水,如純水中含銅在8ppb以上,就會引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會使發(fā)光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點(diǎn)等廢次品。在黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)的12個工序中,玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5個工序需使用純水,每生產(chǎn)一個晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液,如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質(zhì),就會使液晶顯示電路發(fā)生故障,影響液晶屏質(zhì)量,導(dǎo)致報(bào)廢、次品。顯像管、液晶顯示器生產(chǎn)對純水水質(zhì)的要求。

  在光伏行業(yè)晶體管、集成電路生產(chǎn)中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結(jié)耐壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。

  1.水源的影響

  由于水是一種溶解能力很強(qiáng)的溶劑,因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2, 還有膠體(包括硅膠和腐殖質(zhì)膠體),天然水中還存在大量的非溶解性質(zhì),包括粘土、砂石、細(xì)菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。

  2.材料的影響

  制備超純水的材料設(shè)備的材質(zhì)都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑,也引入大量的金屬、非金屬雜質(zhì),同時還會帶來有機(jī)污染。

  材質(zhì)的污染主要以污染值來衡量。所謂污染值是指:單位面積的材料使單位體積的純水電阻率的增加值。表3分別列出了各種材料的污染值和TOC的溶出值。

  工藝流程

  杭州勵進(jìn)環(huán)保設(shè)備有限公司針對以上項(xiàng)目選用以下工藝:

  原水箱→原水泵→加藥裝置→多介質(zhì)過濾器→加藥裝置→活性碳過濾器→全自動軟化器→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透系統(tǒng)→中間水箱→二級高壓泵→二級反滲透系統(tǒng)→純水箱→純水泵→TOC分解器→脫氣膜→精密過濾器→EDI裝置→純水箱→純水泵→拋光混床→膜過濾器→生產(chǎn)線用水點(diǎn)。

  (此項(xiàng)目先進(jìn)、成熟、出水水質(zhì)穩(wěn)定、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定的反滲透+EDI脫鹽裝置作為系統(tǒng)的主脫鹽設(shè)備;系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用低,易于實(shí)現(xiàn)自動化。反滲透水處理系統(tǒng)具有很好的經(jīng)濟(jì)性。)

  工藝概述

  預(yù)處理:主要是去除水中的有機(jī)物、懸浮物、膠體、硬度和余氯等,以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質(zhì)過濾、活性碳吸附,減少RO工作時產(chǎn)生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。

  預(yù)處理系統(tǒng)包括:原水箱、原水泵、加藥系統(tǒng)、多介質(zhì)過濾、活性碳過濾、軟化器。

 

  反滲透裝置: 反滲透裝置是該項(xiàng)目預(yù)脫鹽的心臟部分,經(jīng)反滲透處理的水,能去除絕大部分無機(jī)鹽、有機(jī)物、微生物等。設(shè)計(jì)的合理與否直接關(guān)系到項(xiàng)目的投資費(fèi)用、整個系統(tǒng)運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)效益、使用壽命、操作的可靠簡便性。反滲透膜均采用世界上最先進(jìn)的超低壓復(fù)合膜,單根脫鹽率達(dá)99.8%。當(dāng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)溫度為20℃時,考慮到原水水質(zhì)變化以及膜的使用壽命等因素,本系統(tǒng)采用8英寸的復(fù)合RO膜,安裝在不銹鋼壓力容器內(nèi)。回收率:50%~75%,脫鹽率:98%。RO系統(tǒng)回收率在50%~75%以上,系統(tǒng)脫鹽率不小于98%。在本項(xiàng)目中,考慮到設(shè)備的節(jié)能、運(yùn)行壓力、膜的透過率、膜的脫鹽率、出水的含鹽量等因素,我公司推薦采用美國海德能4040 型反滲透膜。

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